Axia ChemiSEM掃描電鏡，可進(jìn)行樣品成分信息的采集、處理和展示；依托先進(jìn)鏡筒技術(shù)，保持系統(tǒng)始終處于穩(wěn)定狀態(tài)，可ju焦樣品采集數(shù)據(jù)，提供高質(zhì)量圖像；采用全開門式設(shè)計(jì)，耐用性和靈活性更高；可搭載多款掃描電鏡軟件實(shí)現(xiàn)多種自動(dòng)化功能；簡(jiǎn)約化設(shè)計(jì)，全方面性能出色，可表征各種不同類型材料，提供全面的信息。其成像平臺(tái)即時(shí)可用，集成實(shí)時(shí)定量能譜面分析功能，成像即刻并融合成分信息，專為快速分析而設(shè)計(jì)，操作輕松自如。
發(fā)射源：預(yù)對(duì)中鎢燈絲
分辨率：
3.0nm@ 30kV（SE）；8.0 nm@ 3kV（SE）
放大倍數(shù)：5 ~ 1,000,000×（寶麗來相紙放大）
加速電壓范圍：200V ~ 30kV
探針電流范圍：可達(dá)到2μA，連續(xù)可調(diào)
X-Ray工作距離：10 mm，EDS檢出角：35°
樣品室：內(nèi)寬280mm，端口10個(gè)
樣品臺(tái)：五軸全自動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
☆ X=120 mm,
☆ Y=120 mm,
☆ Z=55 mm,
☆ T=-15º~90º,
☆ R=360º （連續(xù)旋轉(zhuǎn)）
☆ 承重 10 kg
探測(cè)器系統(tǒng)：
☆ 高真空二次電子探測(cè)器ETD
☆ 可伸縮式背散射探測(cè)器BSED
☆ 樣品室內(nèi)紅外相機(jī)CCD
☆ 圖像導(dǎo)航彩色光學(xué)相機(jī)Nav-Cam+™
☆ 具有ChemiSEM技術(shù)的TrueSight X EDS 探測(cè)器
控制系統(tǒng)：
☆ 操作系統(tǒng)：Windows 10
☆ 圖像顯示：24寸LCD顯示器，高顯示分辨率1920×1200
☆ 支持用戶自定義的GUI，可同時(shí)實(shí)時(shí)顯示四幅圖像
☆ 軟件支持Undo和Redo功能
實(shí)時(shí)成分信息：同步掃描獲取多種信號(hào)時(shí)執(zhí)行能譜分析，實(shí)時(shí)檢測(cè)形貌與元素信息；
成像平臺(tái)即時(shí)可用：只需關(guān)注數(shù)據(jù)采集，不必憂慮電鏡條件設(shè)置；
快速獲得數(shù)據(jù)：多種成像和掃描策略，優(yōu)化圖像采集效果并提升系統(tǒng)處理能力；
靈活的樣品臺(tái)設(shè)計(jì)：全開門式設(shè)計(jì)，大樣品可輕松加載到樣品倉內(nèi)，10 kg；
成像性能：提供低真空模式和電子束減速模式用于消除荷電效應(yīng)。
