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型號： talos 廠家： FEI 附件：超級能譜、STEM、原位加熱桿
加速電壓：20-200kV
分 辨 率：0.15nm >

陰極熒光光譜（cathodoluminescence spectroscopy）簡稱CL譜，是指利用電子束激發半導體，將價帶電子激發到導帶并在價帶留下空穴，而后由于導帶能量高不穩定，被激發電子又重新躍遷回價帶與空穴復合，并釋放出能量E≤Eg（能隙）的特征熒光譜。 >

型號： K-ALPHA
廠家： THERMO
附件： 氬離子槍
光斑尺寸：30-400微米
分析模式：可選面積能譜分析，深度分析
例：玻璃表面二氧化鈦涂層O元素不同離子價態比例>

顆粒物分析軟件，針對各種灰度與基體不同的顆粒物進行分析及統計,顆粒物尺度可至納米級別。 >

自動礦物分類，可得到礦物組成，礦物顆粒及礦物單體顆粒的礦物組成，樣品的元素組成，礦物顆粒及礦物單體顆粒的元素組成，礦物元素的分布，礦物顆粒及礦物單體顆粒的分布，礦物顆粒及礦物單體顆粒尺寸、形態、比重信息，礦物及劑礦物元素回收率及品味估算，礦物生存關系，礦物礦相表面積比，礦物的連生關系，礦物的解離度等信息。 >

要進行EBIC測試的樣品必須是半導體材料且含有內電場，用于分離電子空穴對 >